09:30 〜 11:30 [15a-PB1-6] 室温原子層堆積法による結晶化ZnO薄膜形成とその応用 〇(DC)吉田 一樹1、齋藤 健太郎1、三浦 正範2、鹿又 健作2、廣瀬 文彦1 (1.山形大院理工、2.山形大 ROEL)