09:30 〜 11:30 [15a-PB2-17] 二周波駆動低圧Ar/CH4プラズマにおける基板へ入射するイオンおよびラジカルフラックスの解析 〇(M1C)木村 勇太1、小川 慎1、小嶋 正宏1、小田 昭紀1、太田 貴之2、上坂 裕之3 (1.千葉工業大学、2.名城大学、3.岐阜大学)