14:30 〜 14:45 [13p-D419-3] アセチルアセトナート化した原料水溶液によるα 型酸化ガリウム薄膜のミスト CVD 成長 〇宇野 和行1、太田 茉莉香1、田中 一郎1 (1.和歌山大)