10:30 〜 10:45 △ [12a-A202-3] バイオテンプレート極限加工により作製したSiナノピラー構造設計による表面撥水性の制御 〇竹内 聡1、大堀 大介1、石田 昌久3、曽田 匡洋3、遠藤 和彦4、寒川 誠二1,2,4 (1.東北大流体研、2.東北大AIMR、3.長瀬産業、4.産総研)