16:15 〜 16:30
〇村上 修一1、吉村 武2、金岡 祐介1、佐藤 和郎1、津田 和城1、藤村 紀文2 (1.大阪技術研、2.大阪府大工)
村上 修一
発表者・著者、共著者
2020年3月14日(土) 13:45 〜 17:30 A305 (6-305)
- 一般セッション(口頭講演)
- | 13 半導体
- | 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術
2020年3月14日(土) 13:45 〜 17:30 A305 (6-305)
16:15 〜 16:30
〇村上 修一1、吉村 武2、金岡 祐介1、佐藤 和郎1、津田 和城1、藤村 紀文2 (1.大阪技術研、2.大阪府大工)