16:15 〜 16:30 [14p-A305-10] 非鉛BiFeO3圧電膜を用いた圧電MEMS振動発電素子のランダム振動印加時の発電特性 〇村上 修一1、吉村 武2、金岡 祐介1、佐藤 和郎1、津田 和城1、藤村 紀文2 (1.大阪技術研、2.大阪府大工)