14:45 〜 15:00 [15p-A305-5] 加熱in-situ TEMによるアモルファスSi膜の結晶成長メカニズム解析 〇垂水 喜明1、林 将平1、川崎 直彦1、大塚 祐二1 (1.東レリサーチセンター)