16:45 〜 17:00 [12p-A305-12] 積層a-Si/SiN/a-Siバリスタを有するビアスイッチ素子の開発 〇井口 憲幸1、伴野 直樹1、岡本 浩一郎1、沼田 秀昭1、橋本 昌宜2、杉林 直彦1、阪本 利司1、多田 宗弘1 (1.NEC、2.大阪大学)