15:30 〜 15:45 △ [15p-D215-7] COP基板におけるリピート熱ナノインプリントによる表面平坦化と導電性酸化物薄膜の堆積 〇大賀 友瑛1、大島 淳史1、金子 奈帆1、金子 智2,1、松田 晃史1、吉本 護1 (1.東工大物質理工、2.神奈川県産技総研)