10:30 〜 10:45 △ [14a-D411-3] ナノビームRHEEDによるマイクロパターニングSi結晶の局所表面構造解析 〇(M1)中塚 聡平1、今泉 太志1、虻川 匡司1、服部 梓2、田中 秀和2、Irmikimov Aydar3、服部 賢3 (1.東北大多元研、2.阪大産研、3.奈良先端大)