14:00 〜 14:15 [15p-A305-2] 一括ELAによるPC基板上a-Si薄膜の結晶化シミュレーション解析 〇(M1)中面 僚介1、時枝 大祐1、阪本 弦太1、岡田 竜弥1、野口 隆1 (1.琉球大工)