14:15 〜 14:30 [12p-A302-5] 極短ギャップ純酸素放電における酸素原子とオゾンの同時密度計測 〇中川 雄介1、川北 拓弥1、内田 諭1、杤久保 文嘉1 (1.首都大システムデザイン)