16:00 〜 18:00 [13p-PA8-11] C6H12/N2混合気体の高周波プラズマCVDによるa-CNx:H薄膜の作製と構造解析 〇(B)趙 真韜1、家老 克徳1、伊藤 治彦1 (1.Nagaoka Univ. of Tech.)