16:30 〜 16:45 △ [14p-A305-11] ピラー型電極を用いた単一錘3軸MEMS加速度センサの検討 〇(M2)渥美 賢1、古賀 達也1、市川 崇志1、山根 大輔1、飯田 慎一2、伊藤 浩之1、石原 昇1、町田 克之1、益 一哉1 (1.東工大、2.NTT-AT)