15:30 〜 15:45 [15p-A302-7] 高温アニールしたスパッタ成膜AlNテンプレート上へのDUV-LED作製 〇上杉 謙次郎1、手銭 雄太1、正直 花奈子2、窪谷 茂幸1、三宅 秀人2,3 (1.三重大地域戦略、2.三重大院工、3.三重大院地域イノベ)