[15p-A302-1~12] 15.4 III-V-group nitride crystals

[15p-A302-7] Fabrication of DUV-LED on High-Temperature Annealed Sputter-Deposited AlN Template

〇Kenjiro Uesugi¹, Yuta Tezen¹, Kanako Shojiki², Shigeyuki Kuboya¹, Hideto Miyake^2,3 (1.SPORR, Mie Univ., 2.Grad. School of Eng., Mie Univ., 3.Grad. School of RIS, Mie Univ.)

Keywords:DUV, LED, AlN

スパッタ成膜と高温アニールで作製したAlNテンプレート上へDUV-LED構造を作製した。転位密度の異なるAlNテンプレートを用いて、DUV-LEDの発光特性と転位密度の関係を検討した。