09:30 〜 11:30 [15a-PA5-21] 大面積成膜に対応した酸化物半導体用誘導結合プラズマスパッタ装置 〇岸田 茂明1、松尾 大輔1、池田 拓弥1、瀬戸口 佳孝1、安東 靖典1 (1.日新電機)