09:30 〜 11:30 [15a-PB2-8] 大気圧プラズマジェット照射を伴う成膜プロセスにおける基板への正バイアス電圧印加効果 〇清水 禎樹1,2、畠山 一翔1,2、伯田 幸也2,1 (1.産総研ナノ材料RI、2.産総研オペランドOIL)