15:30 〜 15:45 △ [15p-A201-10] 界面平坦性から見た極薄金属酸化Al2O3/4H-SiC構造の有用性 〇土井 拓馬1,2、柴山 茂久1、竹内 和歌奈1,3、坂下 満男1、田岡 紀之1、清水 三聡2、中塚 理1 (1.名大院工、2.産総研・名大GaN-OIL、3.愛知工大)