11:00 〜 11:15 [14a-A305-8] ミニマルファブプロセスによるダイヤモンドSAWデバイスの作製(3) 〇藤井 知1、遠江 栄希2、柴 育成2、Dario Manelli3、徳田 基3、大江 隆3、小坂 光二3、原 史朗4 (1.沖縄高専、2.横河SS、3.TCK、4.産総研)