10:30 〜 10:45 △ [14a-D419-6] (Al1-xScx)N薄膜の強誘電特性に及ぼす製膜条件の影響 〇(M1)安岡 慎之介1、清水 荘雄1,2、上原 雅人3、舟窪 浩1 (1.東工大、2.物材研、3.産総研)