09:45 〜 10:00 [14a-B401-4] SiNキャップ層高温熱処理によりGaN表面付近に導入される電子トラップの深さ方向分布の熱処理時間依存性 〇古田 悟夢1、堀田 昌宏1,2、田中 成明3、岡 徹3、須田 淳1,2 (1.名大院工、2.名大未来研、3.豊田合成)