11:00 〜 11:15 [14a-D305-7] 小型高エネルギーガスクラスターイオン源の開発とそのSIMS法への応用 〇(B)平田 健太郎1、瀬木 利夫1、青木 学聡1、松尾 二郎1 (1.京大工)