09:45 〜 10:00 [12a-B410-2] 光渦同軸干渉光を利用したレーザー描画露光法における位相差制御を用いた曲線レジストパターンの形成 〇(M2)膝附 拓也1、坂本 盛嗣1、野田 浩平1、川月 喜弘2、筒井 皇晶3、小野 浩司1 (1.長岡技科大、2.兵庫県立大、3.日産化学(株))