我妻勇哉

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発表者・著者、共著者

2020年3月12日(木) 13:45 〜 16:15 D519 (11-519)

一般セッション(口頭講演)
| 15 結晶工学
| 15.5 IV族結晶，IV-IV族混晶

[12p-D519-1~10] 15.5 IV族結晶，IV-IV族混晶

15:00 〜 15:15

△ [12p-D519-6] Ge-on-Si基板のパターニングによる歪みSiGe層中クラック発生の抑制

〇我妻勇哉¹、Md. Mahfuz Alam^1,2、岡田和也¹、星裕介¹、山田道洋³、浜屋宏平³、澤野憲太郎¹ (1.東京都市大学、2.Univ. of Barishal、3.阪大基礎工 CSRN)