13:30 〜 15:30 [12p-PA1-11] 高感度・高温度安定性MEMSボロメータ 〇(B)吉岡 佑理1、張 亜1、関 遼太1、鮫島 俊之1、邱 博奇2、牛 天野2、平川 一彦2,3 (1.農工大工、2.東大生研、3.東大ナノ量子機構)