15:15 〜 15:30 [13p-D419-6] R面サファイア上にミストCVDで作製したα-Ga2O3薄膜の表面構造解析 〇久保 理1、丹波 大樹1、尾坂 駿1、織田 真也2、田畑 博史1、片山 光浩1 (1.大阪大学、2.FLOSFIA)