13:30 〜 15:30 [13p-PA6-1] スパッタエピタキシー法を用いたGe/GeSiSnヘテロ構造形成 〇塚本 貴広1、広瀬 信光2、笠松 章史2、松井 敏明2、須田 良幸3 (1.電気通信大、2.情報通信研究機構、3.東京農工大)