16:00 〜 18:00 [13p-PA8-10] スパッタ法で作製したアモルファス炭素薄膜およびアモルファス窒化炭素薄膜の熱膨張係数評価 〇青野 祐美1、宮﨑 尚2、春日 貴章3、能木 雅也3 (1.鹿児島大工、2.防衛大材料、3.大阪大産研)