Meiyong Liao

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発表者・著者、共著者

2020年3月13日(金) 16:00 〜 18:00 PA8 (第３体育館)

一般セッション(ポスター講演)
| 6 薄膜・表面
| 6.2 カーボン系薄膜

[13p-PA8-1~20] 6.2 カーボン系薄膜

16:00 〜 18:00

▲ [13p-PA8-6] Single Crystal Diamond MEMS Integrated with Magnetostrictive Material for Magnetic Sensing

〇Meiyong Liao¹、Zilong Zhang¹、Liwen Sang¹、Masataka Imura¹、Satoshi Koizumi¹、Yasuo Koide¹ (1.Nattional Institute for Materials Science)