16:00 〜 18:00 [13p-PA9-13] Mg イオン注入GaN の電気的特性に対する長時間低温キャップアニールにおけるキャップ層材料の影響 〇村井 駿太1、鴨志田 亮1、呉 恩誠1、赤澤 正道1 (1.北大量集センター)