16:00 〜 18:00 [13p-PA9-22] 不純物濃度を揃えて電子正孔チャネルを形成したAlGaAs/GaAs/AlGaAsヘテロ接合ダイオードの高耐圧特性 〇(M1)尾川 弘明1、川田 宗一郎1、櫛田 知義2、岩田 直高1 (1.豊田工大、2.トヨタ自動車(株))