10:00 〜 10:15
〇田中 宏幸1,2、小木曽 久人1,2、中野 禅1,2、野沢 善幸2,3、速水 利泰2,3、Khumpuang Sommawan1,2、原 史朗1,2 (1.産総研、2.ミニマルファブ、3.SPPテクノロジーズ)
田中 宏幸
発表者・著者、共著者
2020年3月14日(土) 09:00 〜 12:00 A305 (6-305)
- 一般セッション(口頭講演)
- | 13 半導体
- | 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術
2020年3月14日(土) 09:00 〜 12:00 A305 (6-305)
10:00 〜 10:15
〇田中 宏幸1,2、小木曽 久人1,2、中野 禅1,2、野沢 善幸2,3、速水 利泰2,3、Khumpuang Sommawan1,2、原 史朗1,2 (1.産総研、2.ミニマルファブ、3.SPPテクノロジーズ)