14:00 〜 14:30 [14p-A401-2] メモリデバイス向け機能性酸化膜とそのプロセス技術 〇坪田 康寿1、鎌倉 司1、門島 勝1、芦原 洋司1、由上 二郎1 (1.(株)KOKUSAI ELECTRIC)