16:00 〜 18:00 △ [14p-PB10-4] H ドープCZ-Si結晶成長中の点欠陥挙動に関する第一原理解析(2) 〇(M1)楠木 琢也1、末岡 浩治2、杉村 渉3、宝来 正隆3 (1.岡山県大院情報系工、2.岡山県大情報工、3.SUMCO)