13:30 〜 15:30 [14p-PB3-8] バイナリマスクとハーフトーンマスクで作製された高Q値ナノ共振器 〇(B)高橋 友基1、安田 孝正1、岡野 誠2、大塚 実2、関 三好2、横山 信幸2、高橋 和1 (1.阪府大院工、2.産総研)