09:30 〜 11:30 [15a-PA1-3] 熱処理によるc軸平行配向ZnO膜のすべりモード電気機械結合係数の向上 〇(M2)紀本 佳苗1、高柳 真司1、柳谷 隆彦2 (1.同志社大、2.早稲田大)