09:30 〜 11:30 [15a-PA5-23] 触媒反応支援CVD法で作製したZnO膜へ窒素ドープとアニール処理 斎藤 太朗1、伊庭 竜太1、神林 広樹1、加藤 有行1、〇安井 寛治1 (1.長岡技科大)