14:15 〜 14:30
〇佐々木 伸夫1,2,3、Muhammad Arif2、浦岡 行治2、後藤 順3、杉本 重人3 (1.Sasaki Consulting、2.奈良先端大、3.ブイ・テクノロジー)
佐々木 伸夫
発表者・著者、共著者
2020年3月15日(日) 13:45 〜 16:30 A305 (6-305)
- 一般セッション(口頭講演)
- | 13 半導体
- | 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術
2020年3月15日(日) 13:45 〜 16:30 A305 (6-305)
14:15 〜 14:30
〇佐々木 伸夫1,2,3、Muhammad Arif2、浦岡 行治2、後藤 順3、杉本 重人3 (1.Sasaki Consulting、2.奈良先端大、3.ブイ・テクノロジー)