14:00 〜 14:15 △ [15p-D305-4] Crドープがc軸配向AlN薄膜の結晶配向性と電気機械結合係数に及ぼす影響 〇高野 佑成1、早川 竜盛1、鈴木 雅視1、垣尾 省司1 (1.山梨大工)