[12a-A202-1~7] 13.1 Fundamental properties, surface and interface, and simulations of Si related materials

[12a-A202-1] Deformation of PVA roller brushes on a rotating wafer

〇Tsubasa Miyaki¹, Yuki Mizushima¹, Toshiyuki Sanada¹, Satomi Hamada², Akira Fukunaga², Hirokuni Hiyama² (1.Shizuoka Univ., 2.Ebara Corp.)

Keywords:post-CMP, PVA brush

本研究では、全反射光学系上に回転ウエハー上で使用されるPVAローラーブラシを再現し、相対運動に伴うPVAブラシの変形や接触面での挙動を観察した。その結果、ブラシ側面が接触した特徴的な接触分布を明らかにし、その出現条件を調査した。