[12a-A202-1~7] 13.1 Si系基礎物性・表面界面・シミュレーション

[12a-A202-1] 回転ウエハー上のPVAローラーブラシ変形挙動

〇宮木 翼¹、水嶋 祐基¹、真田 俊之¹、濱田 聡美²、福永 明²、檜山 浩國² (1.静岡大工、2.荏原製作所)

キーワード：post-CMP、PVAブラシ

本研究では、全反射光学系上に回転ウエハー上で使用されるPVAローラーブラシを再現し、相対運動に伴うPVAブラシの変形や接触面での挙動を観察した。その結果、ブラシ側面が接触した特徴的な接触分布を明らかにし、その出現条件を調査した。