[12a-A302-1~12] 15.4 III-V族窒化物結晶

[12a-A302-8] InGaN層の熱分解を利用したサファイア上GaNの反り改善と分離

〇金子 拓司¹、幸 康一郎¹、岡田 成仁¹、只友 一行¹ (1.山口大院創成科学)

キーワード：GaN、反り、分離