[12a-PA2-1~77] 17 Nanocarbon Technology

[12a-PA2-47] Trench-type bottom gate graphene resonator: Fabrication and Characterization

〇Atsushi Furukawa¹, Hiroya Miyashita¹, Ahmed Hammam¹, Manoharan Muruganathan¹, Hisashi Maki², Hiroshi Mizuta^1,3 (1.JAIST, 2.TAIYO YUDEN CO.,LTD., 3.Hitachi Cambridge Lab)

Keywords:graphene

現在、皮膚から発生するガスによって疫病の早期発見をするという技術の需要が増大している。しかし、現在のガス検出方法では実現できないことから、小型かつ高感度のガスセンサの開発が急務となっている。このような状況の下、我々はグラフェンNEMS技術をガスセンサへ応用する研究を行っている。今回は、さらなるガス検出感度の向上を目的とした、デバイス作製方法の改善について報告する。