[12a-PA2-1~77] 17 ナノカーボン

[12a-PA2-50] SiN膜によるグラフェン保護プロセスの検討

〇谷奥 正巳¹、小野 尭生^1,2、金井 康¹、小山 知弘¹、宮川 成人³、牛場 翔太³、木村 雅彦³、井上 恒一¹、千葉 大地¹、松本 和彦¹ (1.阪大産研、2.JSTさきがけ、3.村田製作所)

キーワード：グラフェン、センサー