2020年第67回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(ポスター講演)

17 ナノカーボン » 17 ナノカーボン(ポスター)

[12a-PA2-1~77] 17 ナノカーボン

2020年3月12日(木) 09:30 〜 11:30 PA2 (第3体育館)

09:30 〜 11:30

[12a-PA2-50] SiN膜によるグラフェン保護プロセスの検討

谷奥 正巳1、小野 尭生1,2、金井 康1、小山 知弘1、宮川 成人3、牛場 翔太3、木村 雅彦3、井上 恒一1、千葉 大地1、松本 和彦1 (1.阪大産研、2.JSTさきがけ、3.村田製作所)

キーワード:グラフェン、センサー