[12a-PA2-1~77] 17 Nanocarbon Technology

[12a-PA2-64] Vapor deposition growth of layered In₂Se₃ thin films

〇Kento Konno¹, Takio Kizu², Kazuhito Tsukagoshi², Keiji Ueno¹ (1.Saitama Univ., 2.NIMS)

Keywords:layered material, indium selenide, thin film

層状13族カルコゲナイドは，グラフェン類似の積層構造を持つ層状物質である。この物質群は電荷移動度や光応答などの面で優れた性質を持ち，素子応用が期待されている。本研究では三セレン化二インジウムIn₂Se₃の薄膜形成を，ALD In₂O₃膜のセレン化，化学気相成長(CVD)，物理気相成長(PVD)などにより試み，得られた薄膜の評価を行った。