[12a-PA2-1~77] 17 ナノカーボン

[12a-PA2-64] 気相成長法による層状In₂Se₃薄膜の形成

〇近野 健人¹、木津 たきお²、塚越 一仁²、上野 啓司¹ (1.埼玉大院理工、2.物財機構 WPI-MANA)

キーワード：層状物質、三セレン化二インジウム、薄膜

層状13族カルコゲナイドは，グラフェン類似の積層構造を持つ層状物質である。この物質群は電荷移動度や光応答などの面で優れた性質を持ち，素子応用が期待されている。本研究では三セレン化二インジウムIn₂Se₃の薄膜形成を，ALD In₂O₃膜のセレン化，化学気相成長(CVD)，物理気相成長(PVD)などにより試み，得られた薄膜の評価を行った。