2020年第67回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(ポスター講演)

17 ナノカーボン » 17 ナノカーボン(ポスター)

[12a-PA2-1~77] 17 ナノカーボン

2020年3月12日(木) 09:30 〜 11:30 PA2 (第3体育館)

09:30 〜 11:30

[12a-PA2-76] ゲート絶縁膜転写とPVAドーピングによるトップゲートMoS2 FETの作製

川那子 高暢1、松﨑 貴広1、小田 俊理1 (1.東工大量子ナノ研)

キーワード:MoS2 FET、トップゲート構造、ドーピング