[12p-A202-1~13] 13.1 Si系基礎物性・表面界面・シミュレーション

[12p-A202-1] シリコンナノピラー/ナノワイヤの酸化メカニズム

〇葉 術軍¹、山部 紀久夫¹、遠藤 哲郎¹ (1.東北大学)

キーワード：シリコンナノピラー、シリコンナノワイヤ、シリコン酸化