2020年第67回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

13 半導体 » 13.1 Si系基礎物性・表面界面・シミュレーション

[12p-A202-1~13] 13.1 Si系基礎物性・表面界面・シミュレーション

2020年3月12日(木) 13:15 〜 16:45 A202 (6-202)

森 伸也(阪大)、蓮沼 隆(筑波大)

13:15 〜 13:30

[12p-A202-1] シリコンナノピラー/ナノワイヤの酸化メカニズム

葉 術軍1、山部 紀久夫1、遠藤 哲郎1 (1.東北大学)

キーワード:シリコンナノピラー、シリコンナノワイヤ、シリコン酸化