[12p-A205-1~15] 8.2 Plasma deposition of thin film, plasma etching and surface treatment

[12p-A205-4] Improved Adhesion Property of Fluoropolymers via Control in Plasma Surface Reaction

〇Yuji Ohkubo¹, Tetsuya Nakagawa¹, Katsuyoshi Endo¹, Kazuya Yamamura¹ (1.Osaka Univ.)

Keywords:fluoropolymer : PTFE, adhesion, weak boundary layer : WBL

これまでの研究で、難接着材料であるフッ素樹脂（PTFE）に対して、加熱しながらプラズマ処理（熱アシストプラズマ処理）すると、PTFEの接着性が大幅に向上することがわかっている。本研究では、プラズマ処理中のPTFEの表面温度に加えて、プラズマ処理中の残留空気濃度をパラメーターとして大気圧プラズマ処理をおこない、PTFEの接着性との相関について調査した。大気開放型プラズマ処理装置の設計指針を得た。