[12p-A205-1~15] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

[12p-A205-4] プラズマ表面反応の制御によるフッ素樹脂の接着性向上

〇大久保 雄司¹、中川 哲哉¹、遠藤 勝義¹、山村 和也¹ (1.阪大院工)

キーワード：フッ素樹脂：PTFE、接着、脆弱層：WBL

これまでの研究で、難接着材料であるフッ素樹脂（PTFE）に対して、加熱しながらプラズマ処理（熱アシストプラズマ処理）すると、PTFEの接着性が大幅に向上することがわかっている。本研究では、プラズマ処理中のPTFEの表面温度に加えて、プラズマ処理中の残留空気濃度をパラメーターとして大気圧プラズマ処理をおこない、PTFEの接着性との相関について調査した。大気開放型プラズマ処理装置の設計指針を得た。